真空機組的組成主要是以羅茨泵為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成，從而得到用戶的青睞被廣泛的應用，廠家為適應發展，機組的類型繁多，具體為方便用戶青睞，可根據下述對設備的類型及特點了解。
1、真空設備一般根據主泵的類型命名，也可以分為低、中、高的真空機組。不同類型的真空設備適用于不同的操作情況，低真空設備，壓力高，排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣等。低真空設備普通主泵、往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵、噴射泵、分子篩吸附泵等。直接排放到大氣中，可以勝任。但根據抽出氣體的清潔度、濕度等條件，需要配備除塵器、氣水油水分離器、干燥阱等設施。
2、介質真空設備，適用于涂布機、真空冶煉、真空熱處理、醫藥化工、電焊等行業需要高抽速并獲得介質真空的各種真空系統。過去真空機組多由羅茨真空泵油封機械泵，羅茨真空水環真空泵，雙羅茨真空泵組成。隨著螺桿真空泵等無油真空泵的興起，羅茨真空泵螺桿真空泵等無油真空設備逐漸增多，適應性更廣。
3、高真空設備工作在分子流狀態，工作壓力10-2到10-6帕，排量小，泵速高。主泵一般由擴散泵、分子泵、鈦升華泵和低溫冷凝泵等承擔。因為它們不能直接在大氣中工作，所以須配備前級泵、預泵等。在特殊情況下，為了防止氣壓波動，還需要配備維護泵和儲氣罐。
4、真空機組的工作壓力范圍為10-6到10-10 Pa，要求主泵在10-7到10-8Pa以上，并保證工作壓力范圍內相應的抽氣速度，如濺射離子泵、渦輪分子泵等。系統的材料須能承受200到450℃的高溫烘烤，并保證低漏風率和出口率等。
綜上所述，了解真空機組的類型及特點,從而方便用戶更好的進行選擇和使用，避免應選擇失誤，造成使用效率下降及成本浪費的情況。
